đóng phần này của thư viện Vật lý (1298)
đóng phần này của thư viện Phún xạ mạ Ion (1)
Xem tài liệu Mô phỏng các quá trình tương tác của chùm Ion tới bia và tính hiệu suất phún xạ bằng phương pháp động học Monte Carlo