SO SÁNH CÁC TÍNH CHẤT CỦA MÀNG MỎNG Al2O3 ĐƯỢC TẠO
BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF VÀ SOL − GEL
Giang Văn Phúc1, Lê Vũ Tuấn Hùng2, Ngô Thị Kim Hoa2, Trần Thị Khánh Chi2,
Lâm Quang Vinh2, Lê Văn Hiếu2, Huỳnh Thành Đạt2
1Trường Đại học An Giang
2 Khoa Vật lý, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM

Abstract
    Nhôm oxide thường được chế tạo dùng cho mục đích xúc tác dưới dạng gốm sứ xốp. Nó cũng có thể được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron rf hoặc phương pháp sol−gel. Mục tiêu của bài viết này nhằm so sánh các đặc trưng của đối tượng trên điều chế từ hai phương pháp đã nêu để có thể sử dụng chúng vào các mục đích khác nhau. Việc nghiên cứu dựa trên các phép đo quang phổ và ảnh chụp AFM. Các kết quả nghiên cứu bao gồm các so sánh về (a) tính chất quang, (b) cấu trúc, (c) sự chuyển pha và (d) hình thái bề mặt.
    Từ khóa: Alumina, sol− gel process, RF magnetron sputtering.
 

COMPARING PROPERTIES OF Al2O3 THIN FILMS PREPARED
BY RF MAGNETRON SPUTTERING AND SOL-GEL PROCESSES
Giang van Phuc1, Le Vu Tuan Hung2, Ngo Thi Kim Hoa2, Tran Thi Khanh Chi2,
Lam Quang Vinh2, Le Van Hieu2, Huynh Thanh Dat2
1AnGiang University, AnGiang province
2Falcuty of Physics, University of Science-VNU HCMC
 

Abstract
    Al2O3 is often used for manufacturing the catalytic converters in the form of porous ceramal or of thin film. It can be produced by reactive RF magnetron sputtering from metallic targets or sol−gel process. The aim of this paper is to compare the alumina properties that were prepared by the two above processes in order to use it to different purposes. The investigation was based on
the spectral methods and AFM. The results of this work included the comparison of (a) optical properties, (b) structures, (c) phase transition and (c) surface textures.
    Key words: Alumina, sol− gel process, RF magnetron sputtering.