NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG ĐA LỚP GƯƠNG NÓNG TRUYỀN
QUA QUANG XÚC TÁC TiO2/Ti/Ag/TiO2 TRÊN ĐẾ THỦY TINH
BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON D.C.
Lê Trấn1, Hà Tân Hòa2, Nguyễn Trung Thành1, Trần Tuấn1, Nguyễn Hữu Chí1
1Khoa Vật lý, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM
2Trường THPT Nguyễn Hữu Cảnh, Biên Hòa, Đồng Nai.

Tóm tắt
    Màng đa lớp TiO2/Ti/Ag/TiO2 có hai tính năng, vừa đóng vài trò gương nóng truyền qua – truyền qua cao trong vùng khả kiến và phản xạ cao trong vùng hồng ngoại, vừa có tính quang xúc tác từ tính chất của lớp TiO2 ngoài. Trong công trình này, màng TiO2/Ti/Ag/TiO2 được chế tạo trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron d.c. Kết quả đạt được cho thấy màng có độ truyền qua trên 70 % trong vùng khả kiến (380nm ≤ λ ≤ 760 nm) và phản xạ trên 85 % trong vùng hồng ngoài (λ ≥ 760 nm), rất thích hợp làm cửa sổ tiết kiệmnăng lượng cho các nhà cao tầng. Ngoài ra, màng có độ phân hủy Methylene Blue (MB) tốt
ΔABS = 0.2, có khả năng tự làm sạch. Để tăng cường tính chất quang học của màng TiO2/Ag/TiO2, lớp đệm Ti cỡ 2 nm cần thiết để ngăn cản sự oxy hóa màng Ag.

STUDYING AND FABRICATING MULTILAYER FILMS
TiO2/Ti/Ag/TiO2 ON GLASS BY D.C REACTIVE MAGNETRON
SPUTTERING METHOD.
Le Tran1, Ha Tan Hoa2, Nguyen Trung Thanh1, Tran Tuan1, Nguyen Huu Chi1
1Faculty of Physics, University of Science-VNU HCMC
2High School of Nguyen Huu Canh, Bien Hoa city, Dong Nai Province

Abstract
    TiO2/Ti/Ag/TiO2 multilayer films have two properties. They serve as transparent heat mirrors – consist of high transmittance in the visible spectrum(Wavelength: 380 ≤ λ ≤ 760 nm) and high reflectance in the infrared spectrum(Wavelength: λ ≥ 760 nm), applied to be energy conserving windows for buildings. Besides, Films have high decomposition of Methylene Blue (MB) ΔABS = 0.2, having their surface self-fresh property. To improve optical property of TiO2/Ag/TiO2 films, Ti buffer layer of 2 nm need to protest from oxidization of Ag film.
    Key words: Photo-catalyst, heating mirror.