NÂNG CAO KHẢ NĂNG QUANG XÚC TÁC CỦA MÀNG TIOXNY
TRONG VÙNG ÁNH SÁNG KHẢ KIẾN.
Vũ Thị Hạnh Thu , Nguyễn Hữu Chí, Lê Văn Hiếu, Đinh Công Trường,
Phạm Kim Ngọc
Khoa Vật Lý, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên – ĐHQG Tp. HCM

Tóm tắt
    Trong công trình nghiên cứu [1], chúng tôi đã chế tạo được màng quang xúc tác TiOxNy có lượng pha tạp nitrogen là 25,1%. Điều này dẫn đến màng có độ rộng vùng cấm ứng với bước sóng hấp thụ trong vùng khả kiến nhưng khả năng quang xúc tác chưa cao. Trong công trình này, chúng của các phương pháp này. Với phương pháp thứ nhất, màng được chế tạo hai lớp ứng với hai điều kiện tạo màng khác nhau, trong đó lớp đầu tiên có lượng pha tạp nitrogen cao và lớp thứ hai có diện tích bề mặt hiệu dụng lớn. Trong phương pháp thứ hai, màng được chế tạo ở áp suất cao và có năng lượng ion lớn hơn 500 eV nhờ vào việc cải tiến hệ phún xạ magnetron. Kết quả nhận được cho thấy cả hai phương pháp nêu trên đều làm tăng khả năng quang xúc tác của màng trong vùng ánh sáng khả kiến. Tuy nhiên, phương pháp thứ hai cho thấy là tốt hơn.

THE METHODS ENHANCED PHOTOCATALYTIC CAPABILITY OF
TiOxNy THIN FILMS IN THE VISIBLE RANGE.
Vu Thi Hanh Thu , Nguyen Huu Chi, Le Van Hieu, Đinh Cong Truong,
Pham Kim Ngoc
Faculty of Physics, University of Science-VNU HCMC

Abstract
    Continuing the study [1], the TiOxNy photocatalytic thin films have contained the high doped Nitrogen (25,1%) and the band gap with the wavelength absorption in the visible range but the photocatalytic properties are not as well as we hope. This study have provided the methods to enhance the photocatalyst of films and compared the results of two methods. In the first method,
films have fabricated two layers with different parameters: the first layer contained the high doped Nitrogen and the second layer had the large effective surface area. In the second method, films havedeposited by the new magnetron system with high pressure and energy of ions more than 500eV. The results show that two methods can enhance the photocatalytic properties in the visible range. However, the second method seems effective. [1] Vũ Thị Hạnh Thu , Nguyễn Hữu Chí, Lê Văn Hiếu, Đinh Công Trường, Lê Quẹo, Phạm Kim Ngọc, “The auger neutralization process in the unbalanced dc sputtering magnetron method when
fabricated TiO2-xNx photocatalytic films”, received 7/2008, communication in physics