ẢNH HƯỞNG CỦA ĐỘ PHA LOÃNG HYDRO LÊN CẤU TRÚC
MÀNG Si:H TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PECVD
Trần Quang Trung1, Stuchlik Jiri2, Ha Stuchlikova2, Lê Khắc Bình1, Nguyễn Năng
Định3, Huỳnh Kim Khương1, Phan Thị Như Quỳnh1, Nguyễn Thị Huỳnh Nga1
1Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM
2 Inst. of Physics, Academy of Sciences of the Czech Republic, Cukrovarnická 10, 162 53
Prague 6, Czech Republic, 3Trường Đại học Công Nghệ Hà Nội

Tóm tắt
    Màng Si:H được chế tạo bằng phương pháp PECVD tại nhiệt độ đế 2500C và tỷ lệ pha loãng hydro từ 1 đến 5. Việc khảo sát cấu trúc và đánh giá nồng độ Hydro trong màng được thực hiện dựa trên các phép đo FTIR và Raman. Phổ hồng ngoại cho thấy sự biến đổi các loại liên kết Si-H trong màng trong khi phổ Raman cho thấy sự chuyển đổi giữa các pha vô định hình, para-crystalline và vi tinh thể khi tỷ lệ pha loãng hydro tăng dần. Nồng độ hydro (từ 6.4% đến 13.5%) và tỷ lệ thể tích tinh thể (lên đến 80%) được ước lượng từ việc phân tích phổ. Các kết quả cho thấu sự chuyển pha từ vô định hình sang vi tinh thể khi thông
số pha loãng hydro tăng.

    Từ khóa: Lắng đọng hơi hoá học tăng cường Plasma, pha loãng hydro, a-Si:H, nc/μc-Si:H,
para-crystallines.
 

THE EFFECTS OF HYDROGEN DILUTION ON STRUCTURE OF
Si:H THIN FILMS DEPOSITED BY PECVD
Tran Quang Trung1, Stuchlik Jiri2, Ha Stuchlikova2, Le Khac Binh1, Nguyen Nang
Dinh3, Huynh Kim Khuong1, Phan Thi Nhu Quynh1, Nguyen Thi Huynh Nga1
1Faculty of Physic, University of Science
2 Inst. of Physics, Academy of Sciences of the Czech Republic, Cukrovarnická 10, 162 53
Prague 6, Czech Republic
3College of Technology, Vietnam National University, Hanoi.
 

Abstract
    Si:H thin films were deposited using conventional PECVD method at substrate temperature of 250oC with different hydrogen dilutions (ratio from 1 to 5). Structure Raman spectroscopies. The IR spectra shows interesting alternations in Si-H bond structures whereas the interpretation of Raman spectra exhibit the interchanging between amorphous, paracrystalline and crystalline phases in the material when H dilution is varied. Hydrogen content (from 6.4% to 13.5%) and crystalinity volume fraction (up to 80%) are evaluated from the spectra. The results demonstrate clearly a transition from amorphous to nc/μc structure when hydrogen dilution increased.
    Key words: Silicon solar cells, PECVD, a-Si:H, μc-Si:H, Ohmic contact, pyramid etching.