MÔ PHỎNG QUÁ TRÌNH VA CHẠM ELECTRON-ARGON VÀ VA
CHẠM ION ARGON- ARGON TRUNG HOÀ TRONG VÙNG SỤT
THẾ CATỐT - HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON DC BẰNG THUẬT TOÁN
MONTE CARLO
Lê Sơn Hải1, Lê Vũ Tuấn Hùng2, Huỳnh Thành Đạt3,
Dương Ái Phương2, Giang Văn Phúc4
1Trường Đại học Sư Phạm Kỹ Thuật Tp. HCM
2Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM
3Trường Đại học Quốc Gia Tp. HCM
4Trường Đại học An Giang
 

Tóm tắt
    Trong bài báo này, chúng tôi dùng thuật toán Monte Carlo để mô phỏng hai quá trình chính trong vùng target như sau: 1) Mô phỏng sự chuyển động của các hạt electron trong vùng sụt thế catốt gần target, tính tóan đến 3 loại va chạm chính: va chạm đàn hồi, kích thích và va chạm ion hoá giữa electron và hạt trung hoà Ar. Qúa trình mô phỏng cũng tính toán đến quỹ đạo chuyển động theo dạng xyloít của hạt electron khi có mặt của điện từ trường. Từ trường làm gia tăng đáng kể đường đi của electron làm gia tăng các quá trình va chạm, và quá trình ion hoá hạt trung hoà. 2) Mô phỏng quá trình chuyển động của các hạt ion Ar và sự va chạm của chúng với các hạt Ar trung hoà trong quá trình chúng được gia tốc về target. Chúng tôi cũng tính toán được năng lượng và góc tới của các hạt ion Ar khi bay về target. Các kết quả thu được, chúng tôi so sánh và đánh giá với các kết quả của các tác giả khác trên thế giới.

MONTE CARLO SIMULATION FOR ELECTRON-ARGON AND ION
ARGON-NEUTRON ARGON COLLISION PROCESS IN CATHODE
SHEATH REGION – DC MAGNETRON SPUTTERING
Le Son Hai1, Le Vu Tuan hung2, Huynh Thanh Dat3,
Duong Ai Phuong2, Giang Van Phuc4
1University of Technical Education Ho Chi Minh city
2University of Science-VNU HCMC
3National University Ho Chi Minh city
4AnGiang University
 

Abstract
    In this paper, we study two main processes in target region by Monte Carlo simulation. 1) Simulating the motion of electrons in the cathode region of near target region. Three types of collisions (elastic, excitation, and ionization) between electron and neutron argon are considered. The model also calculates the cycloid trajectory of electron by the influences of magnetic field. It has been shown that the magnetic field inscreases trajectory of electrons, increases collisions and ionization. 2) Simulating the motion of ion argons and their collision with neutron argons when they accelerate to target. We also caculate the energy and incident angles of ion argons as arriving substrate. We compare our results with these of other scietists.
    Key words: Monte Carlo simulation, collision, trajectory, cathode sheath region.