KHẢO SÁT MÀNG TiN BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHỔ PHÂN CỰC
Nguyễn Đăng Khoa, Nguyễn Thị Ngọc Mai, Lê Khắc Bình, Trần Quang Trung
Khoa Vật lý, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM
 

Tóm tắt
    Bề dày và hằng số quang học là những thông số quan trọng để xác định tính chất quang của màng mỏng. Trong bài báo này, chúng tôi tiến hành phân tích mẫu màng mỏng TiN bằng phương pháp phân cực. Quá trình tạo màng và thông số trong quá trình phủ làm thay đổi tính chất quang và bề dày của màng TiN. Do đó xác định chính xác hằng số quang học của màng TiN là rất quan trọng trong các ứng dụng của màng mỏng.
 

INVESTIGATION OF TITANIUM NITRIDE THIN FILM
BY SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY
Nguyen Dang Khoa, Nguyen Thi Ngoc Mai, Le Khac Binh, Tran Quang Trung
Falcuty of Physics, University of Science-VNU HCMC
 

Abstract
    Thickness and optical constants are important parameters which determine optical properties of thin films. In this study, we present the results gained by analyzing spectroscopic ellipsometry of TiN thin film. The microstructural and optical properties of
T iN films vary widely with the process of deposition and also with the deposition parameters. Thus accurate determination of the optical constants of the TiN film is extremely important prior to its application of thin films.