KHẢO SÁT CẤU TRÚC CỦA LỚP WO3 TRONG MÀNG ĐA LỚP
WO3/ITO/THỦY TINH
Lê Văn Ngọc1, Trần Tuấn2, Huỳnh Thành Đạt3, Dương Ái Phương2,
Trần Cao Vinh4, Bạch Văn Hòa1
1Khoa Vật lý, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM
2Bộ môn Khoa học Vật liệu, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM
3Trường Đại học Quốc Gia Tp. HCM.
4PTN Vật liệu Kỹ thuật cao, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM

Tóm tắt
    Màng WO3 được lắng đọng bằng phương pháp phún xạ magnetron rf trên lớp phủ ITO của đế thủy tinh. Thực nghiệm cho thấy rằng cấu trúc của lớp WO3 có mặt mạng phát triển hướng trội phụ thuộc vào độ dày của lớp ITO. Trong bài báo này sự phụ thuộc đó sẽ được thảo luận sâu hơn.

STUDYING THE STRUCTURE OF WO3 LAYER IN THE
WO3/ITO/GLASS MULTILAYERS FILM
Le Van Ngoc1, Tran Tuan2, Huynh Thanh Dat3, Duong Ai Phuong2,
Tran Cao Vinh4, Bach Van Hoa1
1Faculty of Physics, University of Science-VNU HCMC
2University of Science-VNU HCMC
3Vietnam National University - Ho Chi Minh City
4Advanced Materials Lab, University of Science-VNU HCMC

Abstract
    The WO3 film was deposited by rf magnetron sputtering method on ITO layer coated glass substracte. The result of experiment showed that the crystalline structure of WO3 layer gets prefered texture which depended on the thickness of ITO layer. In this paper that dependence will be discussed futher.