ĐIỀU CHẾ MÀNG MỎNG Ag2Se BẰNG PHƯƠNG PHÁP KẾT TỤ
HÓA HỌC PHA HƠI SỬ DỤNG CHẤT NGUỐN ĐƠN
DICHALCOGENONOPHOSPHINATE VÀ
IMIDODICHALCOGENOPHOPHINATE BẠC
Nguyễn Quốc Chính1, Arunkumar Panneerselvam2, Mohammad Azad Malik2,
Paul O’Brien2, James Raftery2
1Khoa Hóa, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM
2Khoa Hóa và Vật liệu, Trường Đại Học Manchester, Vương Quốc Anh
 

Tóm tắt
    Các phức chất dichalcogenophosphinato và imidodichalcogenodiphosphinato bạc(I) [Ag(Se2PiPr2)] (1), [Ag4(SSePiPr2)4] (2), [Ag{iPr2P(S)NP(Se)iPr2}]3 (3), [Ag(SePiPr2)2N]3 (4) được tổng hợp và xác định cấu trúc. Cả bốn phức chất này đã được sử dụng thành công làm chất nguồn đơn (SSP) để điều chế màng mỏng Ag2Se bằng phương pháp phân hủy nhiệt pha hơi sol khí (AACVD) trong khi chỉ có (3) và (4) tạo được màng Ag2Se bằng phương pháp phân hủy nhiệt pha hơi áp suất thấp (LP-CVD). Màng mỏng Ag2Se được khảo sát bằng nhiễu xạ tia X, và kính hiển vi điện tử quét.
 

CVD OF SILVER SELENIDE FILMS FROM
CHALCOGENOPHOSPHINATO AND
IMIDOCHALCOGENODIPHOSPHINATOSILVER (I) SINGLESOURCE
PRECURSORS
Nguyen Quoc Chinh1, Arunkumar Panneerselvam2, Mohammad Azad Malik2,
Paul O’Brien2, James Raftery2
1Falcuty of Chemistry, Univeristy of Science-VNU HCMC,
2School of Chemistry and School of Materials,
University of Manchester, Oxford Road, Manchester, M13 9PL, UK
 

Abstract
    A series of dichalcogenophosphinato and imidodichalcogenodiphosphinato silver(I) complexes [Ag(Se2PiPr2)] (1), [Ag4(SSePiPr2)4] (2), [Ag{iPr2P(S)NP(Se)iPr2}]3 (3), [Ag(SePiPr2)2N]3 (4) were synthesised and were structurally characterised. The compounds were employed as single-source precursors (SSPs) for aerosol-assisted chemical vapour deposition (AACVD) and low-pressure (LP) CVD processes. All precursors gave silver selenide (Ag2Se) films by AACVD; whereas only (3) and (4) yielded silver selenide films by LPCVD. As-obtained films were characterised by X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM) and energy dispersive X-ray analysis (EDX) methods.