CHẾ TẠO PIN MẶT TRỜI MÀNG MỎNG
DỰA TRÊN MÀNG Si:H TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PECVD
Trần Quang Trung1, Huỳnh Kim Khương2, Huỳnh Xuân Nguyễn2,
Nguyễn Hoàng Việt1, Nguyễn Thị Huỳnh Nga1
1Khoa Vật Lý, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM
2Bộ môn Khoa học Vật liệu, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM

Tóm tắt
    Pin mặt trời màng mỏng dựa trên vật liệu Silic hydro hóa (hydrogenated silicon) là một hướng nghiên cứu thiết thực nhằm làm giảm giá thành sử dụng điện mặt trời. Báo cáo này sẽ nêu ra một số kết quả bước đầu đạt được linh kiện pin mặt trời dựa trên màng Si:H thực hiện tại bộ môn Vật Lý Chất Rắn. Pin mặt trời silic được chế tạo dựa trên đế Si tinh thể thương phẩm loại P, màng a-Si:H (vô định hình) làm lớp hấp thụ và màng c-Si:H (cấu trúc micro tinh thể) loại N từ phương pháp PECVD [1]. Điện cực sau được chế tạo bằng cách bốc bay Al lên mặt sau phiến Si và thông qua quá trình ủ nhiệt để tạo tiếp xúc Ohmic. Điện
cực trước được làm từ vật liệu dẫn điện trong suốt AZO (ZnO:Al). Chúng tôi cũng đã tiến hành ăn mòn “kim tự tháp” (pyramid) tạo bề mặt chống phản xạ cho pin mặt trời.
    Từ khóa: pin mặt trời Silic, PECVD, a-Si:H, μc-Si:H, tiếp xúc Ohmic, ăn mòn pyramid.
 

FABRICATING OF THIN FILM SOLAR CELLS BASED ON
Si:H THIN FILMS FROM PECVD
Tran Quang Trung1, Huynh Kim Khuong2, Huynh Xuan Nguyen2,
Nguyen Hoang Viet1,Nguyen Thi Huynh Nga1
1Faculty of Physic, University of Science-VNU HCMC
2Department of Material Science, University of Science-VNU HCMC
 

Abstract
    Solar cell based on Si:H thin films is now a practical research direction for lowering the cost of solar electricity employment. This report gives some begining experimental results on solar devices that have been fabricated in Solid State Department. Solar cells were fabricated based on commercial P-type silicon wafer, a-Si:H layer as absorber and N-type μc-Si:H layer from PECVD [1]. For Ohmic back-contact, aluminum electrode was evaporated onto the Si wafer and annealing afterward. The transparent-contact is made from AZO using sputtering method. In order to increase the absorption, Si wafers was etching to create a Pyramid-like surface.
    Key words: Silicon solar cells, PECVD, a-Si:H, μc-Si:H, Ohmic contact, pyramid etching.