CHẾ TẠO MÀNG MỎNG VÔNFRAM OXÍT BẰNG PHƯƠNG PHÁP
PHÚN XẠ PHẢN ỨNG MAGNETRON DC TỪ BIA KIM LOẠI
Lê Văn Ngọc1, Nguyễn Đức Thịnh1, Huỳnh Thành Đạt2, Trần Tuấn1, Dương Ái Phương1
1Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM
2Trường Đại học Quốc Gia Tp. HCM.
 

Tóm tắt
    Màng tungsten oxýt được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC từ bia kim loại W trên đế thuỷ tinh. Tính chất quang học và cấu trúc tinh thể của màng được khảo sát bằng các phổ truyền qua và phổ nhiễu xạ tia X.
 

PREPARING TUNGSTEN OXIDE THIN FILM BY REACTIVE DC
MAGNETRON SPUTTERING METHOD FROM METAL TARGET
Le Van Ngoc1, Nguyen Đuc Thinh1, Huynh Thanh Đat2, Tran Tuan1, Duong Ai Phuong1
1University of Science-VNU HCMC
2National University of Ho Chi Minh City
 

Abstract
    WO3 thin films are prepared on glass substrates by reactive dc magnetron sputtering method from metal target. Optical properties and crystalline Structure of films are investigated by transmittance spectra and X-Ray diffraction spectra.