XÁC ĐỊNH BỀ DÀY CỦA FOIL VẬT LIỆU CỰC MỎNG
BẰNG HỆ PHỔ KẾ ALPHA
Lê Công Hảo, Mai Văn Nhơn, Huỳnh Thanh Nhẫn
Khoa Vật Lý, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên-ĐHQG Tp. HCM
 

Tóm tắt
    Ngày nay, trong các ngành công nghiệp cũng như trong nghiên cứu khoa học đã xuất hiện nhu cầu cần xác định chính xác được độ dày của những vật mẫu có kích thước mỏng (μm). Do đó vấn đề đặt ra là phải có phương pháp để đo được bề dày với độ chính xác cao phục vụ nghiên cứu và sản xuất. Trong bài báo này chúng tôi sẽ giới thiệu phương pháp mới để xác định bề dày của các foil vật liệu cực mỏng bằng hệ phổ kế alpha có độ chính xác cao.
    Từ khóa: hệ phổ kế alpha, bề dày foil.
 

DETERMINATION OF FOILS THICKNESS
BY ALPHA SPECTROSCOPY
Lê Công Hảo, Mai Văn Nhơn, Huynh Thanh Nhan
Faculty of Physics, University of Science-VNU HCMC
 

Abstract
    Nowadays, in both industry and scientific research, there was a demand for determination of matters thickness (μm). So we need to have a method for solving that demand with for both production and. In this article, we will introduce a new method for determination of foils thickness by alpha spectroscopy that get high accuracy result.
    Key words: alpha spectroscopy, foil thickness