CHẾ TẠO MÀNG
ĐA LỚP ZnO-Ga/Ag/ZnO-Ga BẰNG
PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON Cao Thị Mỹ Dung, Trần
Cao Vinh, Nguyễn Hữu Chí, Lê Thị Thuý Diễm Phòng TN Vật
liệu kỹ thuật cao, trường Đại học
Khoa học Tự Nhiên Tóm tắt Màng
phản xạ nhiệt đa lớp ZnO-Ga/Ag/ZnO-Ga được
tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron với
màng Ag là lớp kim loại trung gian dựa trên tính chất
phản xạ hồng ngoại cao và hấp thụ thấp
trong vùng khả kiến. Với bề dày các lớp là TRANSPARENT CONDUCTIVE
ZnO-Ga/Ag/ZnO-Ga MULTILAYERS PREPARED BY MAGNETRON SPUTTERING Cao Thi My Dung, Tran Cao Vinh, Nguyen Huu
Chi, Le Thi Thuy Diem Advanced
Material Laboratory, Abstract Transparent heat reflective multilayers, ZnO-Ga/Ag/ZnO-Ga, are made by magnetron sputtering, using Ag as intermediate metallic layer because of its high infrared reflectivity and low visible absorption. With thicknesses of the layers being 30/12/30 nm, respectively, the multilayers has resistivity as low as 3 x 10-5 Wcm, high visible transmittance of above 80% and high infrared reflectance of above 85% |