NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG QUANG XÚC TÁC TiO_xN_y

BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ PHẢN ỨNG MAGNETRON DC

 

Đinh Công Trường, Nguyễn Hữu Chí, Trần Tuấn,  Lê Văn Hiếu,

Vũ Thị Hạnh Thu, Nguyễn Chí Tâm, Phạm Kim Ngọc

Khoa Vật lý, Trường Đại học Khoa học Tự Nhiên

 

Tóm tắt:

 

            Màng quang xúc tác TiO_xN_y được nghiên cứu và chế tạo bàng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC trên đế thủy tinh. Những đặc trưng về cấu trúc, bề mặt, tính chất quang của màng được khảo sát bằng nhiễu xạ tia X, kính hiển vi lực phân tử AFM và phổ UV-vis. Tính quang xúc tác của màng được kiểm tra bằng khả năng tương tác với dung dịch methylene blue MB dưới ánh sáng tử ngoại. Kết quả là tìm được điều kiện tối ưu để chế tạo màng.

 

 

 

 

 

 

 

 

PHOTOCATALYTIC TiO_xN_y THIN FILMS FABRICATED BY DC REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING

 

Dinh Cong Truong, Nguyen Huu Chi, Tran Tuan, Le Van Hieu,

Vu Thi Hanh Thu, Nguyen Chi Tam, Pham Kim Ngoc

Faculty of Physics, University of Natural Sciences

 

Abstract:

 

            Titanium dioxide thin films were deposited by DC reactive magnetron sputtering on glass substrate. The films were charaterized by X-ray diffraction, attomic force AFM, UV-vis spectroscopy. The photocatalytic properties of TiO_xN_y thin films were tested with the degradation methylene blue MB under UV light irradiation. The best fabricated photocatalytic TiO_xN_y thin films were found.