KHẢO SÁT CÁC TÍNH CHẤT CỦA MÀNG MỎNG

QUANG XÚC TÁC TiO₂, TRÊN ĐẾ THẠCH ANH

 

Nguyễn Quỳnh Giao, Nguyễn Hữu Chí, Lê Văn Hiếu, Văn Hồng Khôi,

Vũ Thị Hạnh Thu, Đinh Công Trường, Nguyễn Chí Tâm, Hồ Thị Yến

Khoa Vật lý, Trường Đại học Khoa học Tự Nhiên

 

Tóm tắt

 

Bằng kỹ thuật phún xạ phản ứng magnetron DC không cân bằng, màng mỏng TiO₂ được tạo thành trên đế thạch anh. Phổ nhiễu xạ tia X cho thấy màng có cấu trúc vô định hình. Sau khi nung nóng màng ở các mức nhiệt độ khác nhau; ủ nhiệt trong những khoảng thời gian khác nhau [(673K; 7^h), (773K; 6^h), (873K; 5^h), …, (1 173K; 2^h)], cấu trúc màng chuyển biến dần thành cấu trúc đa tinh thể anatase, đoạn phát triển thêm pha rutile. Nhiệt độ nung càng cao, tỷ trọng pha rutile càng lớn. Và kéo theo là một loạt các biến đổi về độ gồ ghề rms, chiết suất n, độ truyền qua T, độ rộng vùng cấm E_g và ngoạn mục hơn cả là hiệu năng quang xúc tác của màng _ thay đổi rõ nét theo tỷ trọng giữa các pha rutile và anatase.

 

 

 

 

INVESTIGATING THE PROPERTIES OF TiO₂ PHOTOCATALYTIC THIN FILMS ON QUARTZ SUBSTRATES

 

Nguyen Ngoc Giao, Nguyen Huu Chi, Le Van Hieu, Van Hong Khoi,

Vu Thi Hanh Thu, Đinh Cong Truong, Nguyen Chi Tam, Ho Thi Yen

Faculty of Physics, University of Natural Sciences

 

Abstract

 

TiO₂ thin films were deposited onto unheated quartz slides using the unbalanced DC reactive magnetron sputtering technique. X-ray diffraction studies revealed an amorphous structure of the films. After heat treatment in air at different temperatures; and annealing at various lengths of time [(673K; 7^h), (773K; 6^h), (873K; 5^h), …, (1 173K; 2^h)], the film structure gradually changes into anatase polycrystalline, and then rutile phase appears in turn. The more ones supply heat, the more weight percentage of rutile phase increases. And there is a series of variations in consequence of heat treatment such as roughness rms, refractive index n, transmittance T, optical energy band gap E_g, and the most picturesque is the photocatalytic activities of the films_ impressively vary depending on weight percentage between anatase and rutile phases.