CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT SnO₂

BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON PHẢN ỨNG

 

Lê Văn Ngọc, Trần Tuấn, Hùynh Thành Đạt¹, Hoàng Lê Thanh Trang

Khoa Vật Lý,Trường Đại học Khoa học Tự Nhiên

¹ Đại học Quốc gia Tp.HCM

 

Tóm tắt:

 

Màng điện cực trong suốt SnO₂ được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng.Quá trình tạo màng được thực hiện trong hệ chân không mà có thể đạt đến 10^-5 torr với vật liệu bia kim lọai Sn trong hỗn hợp khí Ar ( 99.99%) và O₂ (99.999%). Một số tính chất quang điện và cấu trúc màng được khảo sát.

 

Keyword: transparent conductive thin films, SnO₂

 

 

 

 

 

 

 

PREPARING TRANSPARENT CONDUCTIVE SnO₂ THIN FILM BY MAGNETRON SPUTTERING METHOD REACTIVE

 

Le Van Ngoc, Tran Tuan, Huynh Thanh Dat¹, Hoang Le Thanh Trang

Faculty of Physics, University of Natural Sciences

¹ National University of HCMC

 

 

Abstract:

 

The transparent electrode SnO₂ thin films was prepared by magnetron reactive sputtering method. The depositing process is carried out in vacuum system, which can get 10^-5torr, with the metallic Sn targets  in gas mixture of Ar (99,99%) and O₂ (99,99%). Some of optical, electrical properties and structure of film are studied.