CHẾ TẠO MÀNG ĐA LỚP ZnO-Ga/Ag/ZnO-Ga

BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON

                                                                                                                                                    

Cao Thị Mỹ Dung, Trần Cao Vinh, Nguyễn Hữu Chí, Lê Thị Thuý Diễm

            Phòng TN Vật liệu kỹ thuật cao, trường Đại học Khoa học Tự Nhiên

 

Tóm tắt

 

            Màng phản xạ nhiệt đa lớp ZnO-Ga/Ag/ZnO-Ga được tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron với màng Ag là lớp kim loại trung gian dựa trên tính chất phản xạ hồng ngoại cao và hấp thụ thấp trong vùng khả kiến. Với bề dày các lớp là 30/12/30 nm, màng cho điện trở suất thấp r < 3 x 10^-5 Wcm, độ truyền qua T > 80% trong vùng khả kiến và độ phản xạ R > 85% trong vùng hồng ngoại.

 

 

 

 

 

TRANSPARENT CONDUCTIVE ZnO-Ga/Ag/ZnO-Ga MULTILAYERS PREPARED BY MAGNETRON SPUTTERING

 

            Cao Thi My Dung, Tran Cao Vinh, Nguyen Huu Chi, Le Thi Thuy Diem

            Advanced Material Laboratory, Natural Science University

 

Abstract

 

            Transparent heat reflective multilayers, ZnO-Ga/Ag/ZnO-Ga, are made by magnetron sputtering, using Ag as intermediate metallic layer because of its high infrared reflectivity and low visible absorption. With thicknesses of the layers being 30/12/30 nm, respectively, the multilayers has resistivity as low as 3 x 10^-5 Wcm, high visible transmittance of above 80% and high infrared reflectance of above 85%