TỔNG HỢP MÀNG CỨNG CrN BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON PHẢN ỨNG

 

Đinh Thị Mộng Cầm¹, Lê Khắc Bình¹, Nguyễn Hữu Chí²,

Nguyễn Thị Hải Yến¹, Trần Quang Trung¹

⁽¹⁾Bộ môn Khoa học Vật liệu - Trường Đại học Khoa học Tự Nhiên

⁽²⁾ Khoa Vật lý - Trường Đại học Khoa học Tự Nhiên

 

Tóm tắt

 

            CrN được dùng làm lớp phủ bảo vệ bề mặt vật liệu do có những tính chất đặc biệt như  độ cứng cao, nhiệt độ làm việc lớn, độ chống mài mòn và tính trơ hóa học cao. Màng CrN được tổng hợp trên đế inox bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng với áp suất khoảng 6.10^-3 torr. Màng thu được có cấu trúc tinh thể tốt, định hướng với họ mặt (111) song song với bề mặt mẫu. Cấu trúc tinh thể và độ bám dính của màng phụ thuộc vào nồng độ khí N₂ và thế hiệu dịch trên đế. Màng có độ chống ăn mòn cao khi ngâm trong hai môi trường giả (môi trường axetat và môi trường mồ hôi).

 

 

 

 

 

 

 

SYNTHESIS OF CrN HARD COATINGS BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING

 

Dinh Thi Mong Cam⁽¹⁾, Le Khac Binh⁽¹⁾, Nguyen Huu Chi⁽²⁾,

 Nguyen Thi Hai Yen⁽¹⁾, Trần Quang Trung⁽¹⁾

¹ Department of Materials Science - University of Natural Sciences

² Faclcuty of Physics - University of Natural Sciences

Abstract

 

            CrN is used as a  protective coating because of its special properties as  high hardness, high thermal stability, high corrosion and wear resistance. CrN thin films were deposited by reactive magnetron sputtering on stainless steel substrates at deposition pressure of  6.10^-3 torr. Thin films have good crystal structure, mainly oriented on (111) planes parallel to sample surface. Crystal structure and adherence of CrN coatings depend on the nitrogen content in the sputtering gas and substrate bias. The thin films have high corrosion resistance in imitative medium (acetate medium, sweaty medium).